電子廠(chǎng)涉及的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產(chǎn)生的廢氣種類(lèi)也有一定的差異，今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠(chǎng)廢氣處理。電子廠(chǎng)半導(dǎo)體廢氣處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，主要可以分為，半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣，和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。

半導(dǎo)體制造工藝

1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法

現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過(guò)程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣（VOCs）通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。

2、針對(duì)電子廠(chǎng)廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：

將普通的220V/380V交流電通過(guò)變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開(kāi)這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無(wú)污染的二氧化碳（CO2）和水（H2O）。

3、電子廠(chǎng)廢氣處理沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

放電產(chǎn)生的沸石轉(zhuǎn)輪體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。反應(yīng)快，不受氣速限制。采用防腐蝕材料。只需用電，操作極為簡(jiǎn)單。設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速，隨用隨開(kāi)，常溫常壓下即能使用。氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理。

4、電子廠(chǎng)廢氣處理沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來(lái)源

半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣，主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡(jiǎn)單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過(guò)程產(chǎn)生的烘烤廢氣。

含毒氣性廢氣，其來(lái)源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。

電子廠(chǎng)廢氣處理半導(dǎo)體沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)，在實(shí)際設(shè)計(jì)中，需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置，來(lái)攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣，采用兩級(jí)堿噴淋塔處理系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行處理。通過(guò)對(duì)比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對(duì)氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級(jí)堿噴淋塔凈化工藝，以達(dá)到高效凈化、經(jīng)濟(jì)可行、穩(wěn)定性高的效果。

此外，為了進(jìn)一步優(yōu)化電子廠(chǎng)廢氣處理流程，提升處理效率與環(huán)保效益，沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)往往還需與其他先進(jìn)技術(shù)相結(jié)合。例如，在沸石轉(zhuǎn)輪之后增設(shè)催化氧化裝置，利用貴金屬催化劑在較低溫度下將殘留有機(jī)物轉(zhuǎn)化為無(wú)害的二氧化碳和水，進(jìn)一步降低廢氣中的有機(jī)物含量，確保排放達(dá)標(biāo)。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣成分復(fù)雜多變的特性，還需定期對(duì)廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行性能評(píng)估與調(diào)整，確保處理工藝始終高效運(yùn)行。通過(guò)安裝在線(xiàn)監(jiān)測(cè)設(shè)備，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)廢氣排放指標(biāo)，一旦發(fā)現(xiàn)排放超標(biāo)，立即啟動(dòng)應(yīng)急處理機(jī)制，調(diào)整處理參數(shù)或啟用備用處理設(shè)施，以保障環(huán)境安全。

同時(shí)，電子廠(chǎng)應(yīng)積極探索節(jié)能減排的新途徑，如采用清潔能源替代傳統(tǒng)能源，優(yōu)化生產(chǎn)工藝減少?gòu)U氣產(chǎn)生，以及實(shí)施廢氣資源化利用項(xiàng)目，將廢氣中的有用成分回收再利用，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益的雙贏。

綜上所述，電子廠(chǎng)廢氣處理，尤其是半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣治理，是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，需要綜合運(yùn)用多種技術(shù)手段，結(jié)合嚴(yán)格的監(jiān)管與科學(xué)的管理，方能實(shí)現(xiàn)廢氣的高效凈化與達(dá)標(biāo)排放，為保護(hù)生態(tài)環(huán)境、推動(dòng)電子行業(yè)綠色發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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